IEC 62047-9:2011 cor1{ed1.0}(E/F)

Artikelnummer:

DV-22380/2

Sprache:

Französisch Englisch

Herausgeber:

IEC

Zuständiges nationales TK:

TK 47

Anzahl Seiten:

Erscheinungsjahr:

2011-07

Datum der Ratifizierung (DOR):

Norm-Title

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS

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