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IEC 62047-10:2011 cor1{ed1.0}(E/F)

Numero di articolo:
DV-22516/2
Lingua:
francese  inglese 
Editore:
IEC
Comitato tecnico competente, a livello nazionale:
TK 47
Numero di pagine:
1
Anno di pubblicazione:
2011-07
Data di ratifica (DOR):

Titolo della norma

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
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